2025.02.28

金属膜コートのご紹介（アルミ/クロム/Ag/その他）

真空蒸着では金属膜より誘電体膜の方がARやダイクロなどの応用範囲も広く、注目されるイメージです。しかし、金属使用する利点もあり今でも広く活用されています。また、薄膜技術者には金属膜のほうが蒸着が難しいと仰る方もいらっしゃいます。古くからの方法ですが、奥の深い技術です。

　難しい理由：バッチ毎での特性バラツキが生じ易い
　　　　　　　昨今の装置は誘電体向けに作られており金属膜向きでない
　　　　　　　蒸着装置内部に金属膜付着することで、他の蒸着に影響する

弊社でも、上記の影響を受けますが、条件や方法を模索しまして安定的に生産出来る条件を整えました。お陰様で、ここ10年近くで金属膜のお仕事も増えてきております。
　可能物質：AL/Cr/Au/Ag/Mo/W/Pt/その他各種
　蒸着条件：抵抗加熱/EB/IAD
　　　　　　真空度/導入ガス・流量/IAD強弱など、調節可能

　用途例：①電気デバイスの試作薄膜加工
　　　　　②半導体向けの薄膜テスト
　　　　　③物質物性調査のための薄膜化
　　　　　④メッキより薄い薄膜が欲しい時（数nm～数百nmなど）
　　　　　⑤従来からの光学向け反射ミラー/減衰膜用途

お客様のご希望に合わせてご対応可能です。ぜひ、金属膜のご希望ございましたら、大正光学へお問い合わせください。

（金属膜用パンフレットを準備中です）